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青岛泰斯迈仪器设备有限公司
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溅射台 SME-200

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详细说明

    产品简介：

它是一种多室型溅射装置，可以配备多个处理室（*多3个腔室200E，*多5个腔室200J和*多7个腔室200）



产品特性：

• 可运输Φ200mm板

• 作为处理室的各种模块的阵容

• 介电模块

• 高温成膜模块

• 精密分配模块

• 蚀刻模块



产品应用：

• 电子零件

• 微机电系统

• 动力装置

• 发光二极管

 
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